廠家供應鈦靶材 TA2鈦靶塊 高純度濺射靶材 真空鍍膜鈦靶材

鈦 靶

一、牌號

國內牌號：TA1、TA2、TA7、TA9、TA10、TC11 。

美標牌號：GR1、GR2、GR7、GR12。

二、靶材的主要性能要求:

（1）純度

純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中，
對靶材的純度要求也不盡相同。

（2）雜質含量

靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜
質含量的要求也不同。

三、表面

車光、倒角。表面清潔光滑，無起皮，氣孔，裂紋等缺陷。

四、規格

Φ100*40，Φ98*40，Φ95*45，Φ90*40，Φ85*35較常見，其他規格可按客戶要求制作。